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发布时间:2021-11-28 01:37:55
无尘车间的送风量计算与一般空调的不同。一般空调(全空气系统)的送风量是根据计算出的热湿负荷,选取经济的送风温差,按消除余热、余湿来计算送风量。
而无尘车间的送风量计算一般不依赖于热湿负荷,它主要是根据不同的洁净度按断面平均风速或换气次数来计算送风量。过于拥挤的净化车间,不仅妨碍生产操作,而且人员之间的相互碰撞,人员工作服与生产设备的接触,很容易造成产品污染。必要时,再用热湿负荷进行送风量的校核计算,一般情况下都能满足消除余热、余湿的要求。也就是按断面平均风速或换气次数计算的送风量通常要大于按消除余热、余湿计算的送风量。
1、1级:级的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精1确要求为亚微米。
2、10级: 十级的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
3、100级:百级无尘车间并非无菌室,百级无尘车间对“无菌”的或“无尘”的环境要严格,100级无尘室可用于医1药工业的无菌制造工艺等,这一无尘车间大量应用于植如体内物品的制造,外1科***,包括移植***,集成器的制造,那些对***感1染特别敏感的病1人的隔离治1疗,如像骨1髓移植病1人术后的隔离治1疗。因此对于无尘车间工程行业来说,优化设计、现场施工环境的协调与管控、工程相关技术细节的经验积累,对客户需求的理解和实现,以及对设计变更的准备和响应程度等都是衡量无尘车间施工团队能力的重要指标。
4、1000级:千级的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等。
5、10000级:万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用。
6、100000级:十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医1药工业也常常使用这一级无尘车间。
7、300000级别:三十万级无尘车间级别较低,用于普通洁净区,如级别不高的走道。
随着人们对生活品质的提高,对其生产品质的要求也越来越严格。无尘厂房和无尘车间的设计应根据生产工艺合理布局,预防和降低产品受污染的风险。电子厂与其他行业的无尘车间在建设规划时对于静电的控制主要分为两种:高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累,──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有***性的静电释放源。
当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。
无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。3、所有的配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件只能与主体结构相连,不能与设备和管线支架交叉混用,防止因微震引起装饰材料松动和灰尘脱落。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。4、正确选用无尘清洁器械所有无尘室的清洁用品需选用无尘室专用物品,并且建立无尘室清洁用品的选用评估流程,评估标准,评估的标准宜参考清洁的效果及效率。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。一般来说,这仍需要考虑下性价比的问题,具体做法则只要我们从工程预算和功能要求出发,来挑选合适自家需求的地坪材料。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。
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