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无尘车间的节能改造处理 现代社会，节能两字是十分博人眼球，很能捉住人们的猎奇，而且都能欣然接受的。可是，无尘车间也有属于自个的节能方法。

1、双温度冷冻循环：冷冻体系一般规划成能够承受1大负荷，不论1大负荷发生得是不是频频。5、门窗材料应选择耐侯性好，自然变形小，制造误差小，气密性好的，造型要简单，不易积尘，便于清扫，门框不设门槛。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由一切负荷中只占一小部分的极点热负荷来断定，这仅仅许多状况中的一两种。这会形成冷冻才能过剩，在负荷缺乏的状况下功率低下。

2、变速驱动的冷冻机：变速驱动冷冻机能够省去许多的能量和金钱，在采购新冷冻机的时分，指1定采购变速驱动冷冻机是划算的。用变速驱动冷冻机可下降能耗，一起让别的冷冻机可靠性运转。许多的观念都以为，变速驱动冷冻机的效果是极1好的。

3、马达功率：无尘车间的电能大多数都是由马达耗费的，适当地进步功率、适当地调理尺度，在翻新后，经济效果多半是不错的。相信大家都知道，十万级无尘车间对于各方面的要求相当来说，都是比较高，特别是在洁净度方面，这点相信对于很多曾经在无尘车间工作过的朋友来说都深有体会。功率添加几个百分点，赢利就会相应添加。优异的马达，纷歧定会花费太多。高功率意味着1小，在改动马达的尺度之前先尽量减小负荷。在输出质变化时，使用变速驱动能够进步操作功率。

4、换气次数：许多无尘车间净化工程都通过维持空气流量来坚持清洁度和颗粒数。3、送风量大：为了满足千级无尘车间内的洁净度及热湿平衡，需要较大的送风量。在坚持洁净度的前提下，空气流速的下降能够下降缔1造及能耗本钱。换气次数下降20%就能够使风机的尺度下降50%。空气洁净度比节省能耗更主要，可是1新的研究成果已经有下降洁净本钱的记载了。

无尘车间要控制相对湿度，以下几个影响因素也是关键：

金属腐蚀：很多化学反应的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。幸运的是，一些金属，例如铝，可以与水形成一层保护型的氧化物，并阻止进一步的氧化反应；但另一种情况是，例如氧化铜，是不具有保护能力的，因此，在高湿度的环境中，铜制表面更容易受到腐蚀。在实际生产中，100级换气次数为300～400次/h，1万级为25—35次/h，10万级为15—20次/h。

水汽冷凝：在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。无尘洁净室***1主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘洁净室。

光刻的退化：这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。现代制造业所需的净化厂房除了对常规的温度、湿度、洁净度有要求外，往往还要解决车间内污染性设备所排放的粉尘、废气、异味、余热、噪音以及设备震动，这些对洁净环境所产生的影响都应该进行综合设计考量。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。

还有就是吸水性，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响；较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。