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朱经理 先生
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发布时间:2022-03-22 03:02:04
洁净厂房竣工验收时,应认真检查竣工验收的资料,一般包括下列文件及记录:
1 图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;
2 各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;
3 各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;
4 各分部单机试运转记录;
5 各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;
6 各类管线试验、检查记录;
7 各分部工程的安全设施的检验和调试记录;
8 各分部工程的质量验收记录。
洁净厂房的竣工验收合格,并经核实批准后,按要求进行功能验收,功能验收是在“静态”进行测试,其主要测试内容如下:
洁净厂房使用验收后,应编写使用验收报告,其主要内容有:
1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;
2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;
3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);
4 测试仪器的有效校验证书;
5 验收出具相关结论。

无尘车间等级标准划分 洁净度等级标准ISO14644根据悬浮粒子浓度这个唯1指标来划分洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)0.1um~0.5um范围内累计分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~0.5um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。
无尘车间要控制相对湿度,以下几个影响因素也是关键:
金属腐蚀:很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增1高而加快。所有暴露在无尘车间、洁净室周围空气中的表面都很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时,高湿度可以使反应加速。幸运的是,一些金属,例如铝,可以与水形成一层保护型的氧化物,并阻止进一步的氧化反应;温度:100级及1万级取20~23~C(夏季),10万级及30万级取24~26~C,一般区26~27~C。但另一种情况是,例如氧化铜,是不具有保护能力的,因此,在高湿度的环境中,铜制表面更容易受到腐蚀。
水汽冷凝:在相对湿度较高的环境中,浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键,可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。这种效应——凯尔文浓缩——当相对湿度小于50%时并不重要,但当相对湿度在70%左右时,就成为颗粒之间黏附的主要力量。 所以必须要对无尘车间相对湿度控制。电子厂与其他行业的无尘车间在建设规划时对于静电的控制主要分为两种:高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累,──这是大家希望的结果。
光刻的退化:这在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性,它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际应用上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及精1确的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。2、天花吊顶:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:彩钢板与无尘板。
还有就是吸水性,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负1面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易,甚至不需要聚合改性剂,如六甲1基二硅氮烷(HMDS)。

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